场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope）是半导体分析实验室最广泛使用的表面分析仪器之一。扫描电镜样品制备简单方便，观察结果直观，放大倍数范围宽(<20 到＞30 万倍），可观察二次电子或背散射电子图像，结合能谱仪(EDS)或波谱仪(WDS)可进行微区（亚微米级）成份分析。

主要指标
分辨率:3 nm at 30 kV
加速电压: 0.5 kV-30 kV
电子束流: 10 pA-20 nA

主要用途
表面结构分析
工艺微缺陷分析
材料成分分析

工艺展示

佛智芯失效分析&可靠性测试平台是专业从事芯片封装产品品质缺陷原因、性能评价、材料结构和成分分析的第三方检测机构。失效分析&可靠性测试（Failure & Reliability Analysis，RA&FA）平台依托于佛智芯微电子技术研发有限公司和广工大数控装备协同创新研究院设立，与广东工业大学、华进半导体及国家计量院建立了紧密的合作关系，集合多种先进分析设备及物性测试设备。

本平台拥有5名固定工作人员，其中教授级高工2人，工程师3人，此外，还有硕士研究生4人，组成了一支结构合理，专业过硬的研发和技术服务团队。本平台服务于大板级扇出封装工艺示范线的工艺开发，珠三角流域的电子封装材料、封装工艺以及下游厂商，为粤港澳大湾区及中国的集成电路产业发展提供保障性服务。